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強誘電体膜の製造方法、強誘電体膜及び圧電素子[ja]
被引：0
申请号：
JP20130517803
申请日：
2011-05-31
公开(公告)号：
JPWO2012164753A1
公开(公告)日：
2014-07-31
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H10N30/853
IPC分类号：
H10N30/074
H10N30/097
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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