共 50 条
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成膜方法及び成膜装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20160114624
申请日：
2016-06-08
公开(公告)号：
JP6660816B2
公开(公告)日：
2020-03-11
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/54
IPC分类号：
C23C14/14
C23C14/34
H01L21/28
H01L21/285
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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