半導体素子およびその製造方法、ならびに無線通信装置[ja]

被引:0
申请号
JP20180557964
申请日
2018-10-26
公开(公告)号
JPWO2019102788A1
公开(公告)日
2020-10-01
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L29/786
IPC分类号
C01B32/168 H01L21/336 H01L51/05 H01L51/30
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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