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燃料流生成器、ソースコレクタ装置、及び、リソグラフィ装置[ja]
被引:0
申请号
:
JP20140558044
申请日
:
2013-01-22
公开(公告)号
:
JP2015509646A
公开(公告)日
:
2015-03-30
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
H05G2/00
IPC分类号
:
H01L21/027
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
燃料流生成器、ソースコレクタ装置、及び、リソグラフィ装置[ja]
[P].
日本专利
:JP6174605B2
,2017-08-02
[2]
ソースコレクタ装置、リソグラフィ装置及び方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2016515755A
,2016-05-30
[3]
放射源及びリソグラフィ装置[ja]
[P].
日本专利
:JP2014529862A
,2014-11-13
[4]
リソグラフィ装置コントローラシステム[ja]
[P].
日本专利
:JP2025504833A
,2025-02-19
[5]
乱数生成器及びストリーム暗号[ja]
[P].
日本专利
:JP2016505887A
,2016-02-25
[6]
乱数生成器及びストリーム暗号[ja]
[P].
日本专利
:JP5911654B2
,2016-04-27
[7]
音出力装置、通信コントローラ及び音生成器[ja]
[P].
日本专利
:JP7446753B2
,2024-03-11
[8]
プロセッシング装置及びスウィズルパターン生成器[ja]
[P].
日本专利
:JP2014530408A
,2014-11-17
[9]
マイクロ波パルス生成器及び量子コンピュータ[ja]
[P].
NORIMATSU TAKAYASU
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
HITACHI LTD
HITACHI LTD
NORIMATSU TAKAYASU
;
WACHI YUSUKE
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
HITACHI LTD
HITACHI LTD
WACHI YUSUKE
;
SUGANO YUSUKE
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
HITACHI LTD
HITACHI LTD
SUGANO YUSUKE
.
日本专利
:JP2024163701A
,2024-11-22
[10]
溶媒和ナノクラスターを製造する方法及び生成器[ja]
[P].
日本专利
:JP2024535660A
,2024-10-02
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