共 50 条
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基板支持ブッシング[ja]
被引：0
申请号：
JP20140537089
申请日：
2012-10-01
公开(公告)号：
JP2015501537A
公开(公告)日：
2015-01-15
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
C23C14/50
C23C16/458
H01L21/3065
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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