加工装置、及び加工方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20190037550

申请日：

2019-03-01

公开(公告)号：

JP7286240B2

公开(公告)日：

2023-06-05

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/301

IPC分类号：

H01L21/683

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法律状态信息

共 50 条

[1]

加工方法及び加工装置[ja] [P].

日本专利 :JP5784298B2 ,2015-09-24

[2]

加工方法及び加工装置[ja] [P].

日本专利 :JP7098926B2 ,2022-07-12

[3]

加工装置及び加工方法[ja] [P].

UENO KATSUNOBU ;

NAGUMO YASUSHI ;

YOSHIHARA YURI ;

OKADA SATOSHI ;

IWASA JUNJI .

日本专利 :JP2024064378A ,2024-05-14

[4]

加工方法及び加工装置[ja] [P].

OMORI TAKASHI ;

MIYATA SATOSHI .

日本专利 :JP2025084521A ,2025-06-03

[5]

加工方法及び加工装置[ja] [P].

日本专利 :JP7654244B2 ,2025-04-01

[6]

加工装置及び加工方法[ja] [P].

日本专利 :JP7335158B2 ,2023-08-29

[7]

加工装置及び加工方法[ja] [P].

日本专利 :JP2025153121A ,2025-10-10

[8]

加工装置及び加工方法[ja] [P].

日本专利 :JP5969334B2 ,2016-08-17

[9]

加工装置及び加工方法[ja] [P].

KOIDO TAKASHI ;

TADA MAKOTO .

日本专利 :JP2024126383A ,2024-09-20

[10]

加工方法及び加工装置[ja] [P].

日本专利 :JP7743040B2 ,2025-09-24

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