誘電体材料評価装置[ja]

被引:0
申请号
JP20170195997
申请日
2017-10-06
公开(公告)号
JP7011806B2
公开(公告)日
2022-01-27
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
G01R27/26
IPC分类号
G01N22/00 G01R35/00 H01P3/00 H01P3/08 H01P7/08
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
誘電体材料評価装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7065502B2 ,2022-05-12
[2]
誘電体材料[ja] [P]. 
日本专利 :JP6361717B2 ,2018-07-25
[3]
誘電体材料[ja] [P]. 
日本专利 :JP2021520218A ,2021-08-19
[4]
誘電体材料[ja] [P]. 
日本专利 :JP6032022B2 ,2016-11-24
[5]
複合誘電体材料[ja] [P]. 
日本专利 :JP7443837B2 ,2024-03-06
[6]
複合誘電体材料[ja] [P]. 
日本专利 :JP7276297B2 ,2023-05-18
[7]
[8]
誘電体材料、静電チャック装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6103046B2 ,2017-03-29
[9]
誘電体材料、静電チャック装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2015137270A1 ,2017-04-06
[10]
誘電体材料の堆積方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7176106B2 ,2022-11-21