共 31 条
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シリカガラスルツボの歪測定装置、シリコン単結晶の製造方法、シリカガラスルツボの歪測定方法、位相差マップ、インゴットおよびホモエピタキシャルウェーハ[ja]
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日本专利 :JPWO2017110762A1 ,2018-06-28
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シリカガラスルツボ、シリカガラスルツボの製造方法、シリコン単結晶の引き上げ装置、インゴットおよびホモエピタキシャルウェーハ[ja]
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日本专利 :JPWO2017110763A1 ,2018-06-28
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