反射光学素子[ja]

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申请号
JP20180514390
申请日
2016-09-20
公开(公告)号
JP6621915B2
公开(公告)日
2019-12-18
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
G03F7/20
IPC分类号
G02B5/08
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
反射光学素子[ja] [P]. 
日本专利 :JP6399889B2 ,2018-10-03
[2]
反射光学素子[ja] [P]. 
日本专利 :JP6722655B2 ,2020-07-15
[3]
反射光学素子[ja] [P]. 
日本专利 :JP2017526007A ,2017-09-07
[4]
反射光学素子[ja] [P]. 
日本专利 :JP7495922B2 ,2024-06-05
[5]
反射光学素子[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2020255357A1 ,2021-09-13
[6]
反射光学素子[ja] [P]. 
日本专利 :JP2018529127A ,2018-10-04
[7]
反射光学素子[ja] [P]. 
日本专利 :JP6766277B1 ,2020-10-07
[8]
反射光学素子[ja] [P]. 
日本专利 :JP6814216B2 ,2021-01-13
[9]
反射光学素子[ja] [P]. 
日本专利 :JP2021530734A ,2021-11-11
[10]
反射光学素子[ja] [P]. 
日本专利 :JP2019500652A ,2019-01-10