水溶性切断液組成物、水溶性切断液及びその水溶性切断液を用いた切断方法[ja]

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申请号
JP20090549312
申请日
2008-04-30
公开(公告)号
JPWO2009133612A1
公开(公告)日
2011-08-25
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C10M173/02
IPC分类号
B28D5/04 C10M105/14 C10M105/18 C10M107/34 C10M125/14 C10M125/20 C10M133/04 C10M133/30 C10M169/04 C10N20/02 C10N30/00 C10N40/22 H01L21/304
代理机构
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法律状态
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共 50 条
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