共 50 条
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酸化物および窒化物に選択的な高除去速度および低欠陥のＣＭＰ組成物[ja]
被引：0
申请号：
JP20150500597
申请日：
2013-03-14
公开(公告)号：
JP6082097B2
公开(公告)日：
2017-02-15
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C09K3/14
IPC分类号：
B24B37/00
C09G1/02
H01L21/304
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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