感光性樹脂組成物及びパターン形成方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20080522594

申请日：

2007-06-26

公开(公告)号：

JPWO2008001782A1

公开(公告)日：

2009-11-26

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

G03F7/004

IPC分类号：

G03F7/039 G03F7/075 G03F7/11 G03F7/40 H01L21/027

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共 50 条

[1]

ポジ型感光性樹脂組成物およびパターン形成方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2003087941A1 ,2005-08-25

[2]

ポジ型感光性樹脂組成物およびパターン形成方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2007007730A1 ,2009-01-29

[3]

感光性樹脂組成物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009145153A1 ,2011-10-13

[4]

感光性樹脂組成物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2007129589A1 ,2009-09-17

[5]

感光性樹脂組成物[ja] [P].

MITSUKURA KAZUYUKI ;

IMAZU HIROKI ;

AOKI MASARU ;

KOMINE TAKUYA .

日本专利 :JP2023029564A ,2023-03-03

[6]

感光性樹脂組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2025146153A ,2025-10-03

[7]

感光性樹脂組成物及び感光性フィルム[ja] [P].

日本专利 :JPWO2007125921A1 ,2009-09-10

[8]

感光性樹脂組成物及び積層体[ja] [P].

日本专利 :JPWO2008099655A1 ,2010-05-27

[9]

感光性樹脂組成物及びその硬化物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2004079452A1 ,2006-06-08

[10]

感光性組成物、感光性フィルム、感光性積層体、永久パターン形成方法、及びプリント基板[ja] [P].

日本专利 :JPWO2007108171A1 ,2009-08-06

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