膜厚測定装置及び膜厚測定方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20150188381

申请日：

2015-09-25

公开(公告)号：

JP6589239B2

公开(公告)日：

2019-10-16

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

G01B15/02

IPC分类号：

G01B11/06

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法律状态信息

共 50 条

[1]

膜厚測定装置及び膜厚測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP2022179471A ,2022-12-02

[2]

膜厚測定装置及び膜厚測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP7788358B2 ,2025-12-18

[3]

膜厚測定装置及び膜厚測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP7064465B2 ,2022-05-10

[4]

膜厚測定装置及び膜厚測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP7690648B2 ,2025-06-10

[5]

膜厚測定装置及び膜厚測定方法[ja] [P].

NISHIMURA YOSHIHIRO ;

MAEKAWA HIROYUKI .

日本专利 :JP2023170825A ,2023-12-01

[6]

膜厚測定装置及び膜厚測定方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2012140693A1 ,2014-07-28

[7]

膜厚測定装置及び膜厚測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP7532702B1 ,2024-08-13

[8]

膜厚測定装置及び膜厚測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP7121222B1 ,2022-08-17

[9]

膜厚測定装置及び膜厚測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP6923363B2 ,2021-08-18

[10]

膜厚測定装置及び膜厚測定方法[ja] [P].

NAKAMURA TOMONORI ;

OTSUKA KENICHI ;

ARANO SATOSHI ;

TSUCHIYA KUNIHIKO .

日本专利 :JP2025122186A ,2025-08-20

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