冷却装置及び多室型熱処理装置[ja]

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申请号
JP20140111545
申请日
2014-05-29
公开(公告)号
JP6515370B2
公开(公告)日
2019-05-22
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C21D1/00
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
冷却装置及び多室型熱処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6418830B2 ,2018-11-07
[2]
多室型熱処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2018221465A1 ,2019-11-07
[3]
冷却装置及び熱処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2017163732A1 ,2018-08-09
[4]
冷却装置及び熱処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6742399B2 ,2020-08-19
[5]
熱処理装置及び冷却装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6238498B2 ,2017-11-29
[6]
熱処理装置及び冷却装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2016080197A1 ,2017-04-27
[7]
冷却装置、熱処理装置、熱処理方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6641117B2 ,2020-02-05
[8]
熱処理用冷却装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7705583B2 ,2025-07-10
[9]
熱処理用冷却装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7705584B2 ,2025-07-10
[10]
冷却装置、及び、基板処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7630970B2 ,2025-02-18