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冷却装置及び多室型熱処理装置[ja]
被引:0
申请号
:
JP20140111545
申请日
:
2014-05-29
公开(公告)号
:
JP6515370B2
公开(公告)日
:
2019-05-22
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
C21D1/00
IPC分类号
:
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
冷却装置及び多室型熱処理装置[ja]
[P].
日本专利
:JP6418830B2
,2018-11-07
[2]
多室型熱処理装置[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2018221465A1
,2019-11-07
[3]
冷却装置及び熱処理装置[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2017163732A1
,2018-08-09
[4]
冷却装置及び熱処理装置[ja]
[P].
日本专利
:JP6742399B2
,2020-08-19
[5]
熱処理装置及び冷却装置[ja]
[P].
日本专利
:JP6238498B2
,2017-11-29
[6]
熱処理装置及び冷却装置[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2016080197A1
,2017-04-27
[7]
冷却装置、熱処理装置、熱処理方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6641117B2
,2020-02-05
[8]
熱処理用冷却装置[ja]
[P].
日本专利
:JP7705583B2
,2025-07-10
[9]
熱処理用冷却装置[ja]
[P].
日本专利
:JP7705584B2
,2025-07-10
[10]
冷却装置、及び、基板処理装置[ja]
[P].
日本专利
:JP7630970B2
,2025-02-18
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