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放電表面処理用電極とその評価方法、および放電表面処理方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20050506869
申请日：
2004-01-28
公开(公告)号：
JPWO2004111301A1
公开(公告)日：
2006-08-31
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C26/00
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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