SiCエピタキシャル基板およびその製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20090524405
申请日
2008-03-11
公开(公告)号
JPWO2009013914A1
公开(公告)日
2010-09-30
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C30B29/36
IPC分类号
C30B19/04 H01L21/205 H01L21/208 H01L33/00
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 12 条
[2]
硫化リチウム粉末およびその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025538812A ,2025-11-28
[3]
[4]
[5]
保護シートの製造方法及び保護シート[ja] [P]. 
NAKAMORI HIDEKI ;
HIRATSUKA MASANORI ;
TSUBOI HITOMI ;
SUZUKI TETSUYA ;
NAKAJIMA TAKESHI .
日本专利 :JP2024010696A ,2024-01-25
[6]