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酸化物焼結体およびスパッタリングターゲット[ja]
被引：0
申请号：
JP20180002051
申请日：
2018-01-10
公开(公告)号：
JP6364561B1
公开(公告)日：
2018-07-25
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C04B35/01
IPC分类号：
C23C14/34
H01L21/363
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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