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フォトレジスト洗浄溶液用のパーフルオロアルキルスルホンアミド界面活性剤[ja]
被引：0
申请号：
JP20140525053
申请日：
2012-08-01
公开(公告)号：
JP6101693B2
公开(公告)日：
2017-03-22
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
G03F7/32
IPC分类号：
H01L21/027
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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