共 50 条
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薄膜形成方法及び薄膜形成装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20080540940
申请日：
2007-10-12
公开(公告)号：
JPWO2008050618A1
公开(公告)日：
2010-02-25
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/35
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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