イオン注入量測定装置およびイオン注入量測定方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20110066116

申请日：

2011-03-24

公开(公告)号：

JP5719651B2

公开(公告)日：

2015-05-20

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/265

IPC分类号：

H01L21/66

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法律状态信息

共 50 条

[1]

イオン濃度測定方法およびイオン濃度測定装置[ja] [P].

YOSHIZAKI YASUHIRO ;

IKEDA SHUNICHI ;

TOMITA MAMI .

日本专利 :JP2025091593A ,2025-06-19

[2]

イオンセンサおよびイオン濃度測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP6865929B2 ,2021-04-28

[3]

イオン濃度測定装置及びイオン濃度測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP6762575B2 ,2020-09-30

[4]

イオン濃度測定装置及びイオン濃度測定方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2017150107A1 ,2018-12-27

[5]

亜硝酸イオン含有量の測定方法[ja] [P].

TOKUNO TAKESHI ;

OMORI KENTARO ;

SUDO YUJI ;

TAKEDA NOBUFUMI .

日本专利 :JP2024016930A ,2024-02-08

[6]

バイオセンサおよびバイオセンサ測定装置、並びに測定方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2005075979A1 ,2007-10-11

[7]

陰イオン測定方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2010137132A1 ,2012-11-12

[8]

イオンビーム測定装置及びイオンビーム測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP6150632B2 ,2017-06-21

[9]

イオン濃度センサ、およびイオン濃度測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP6307058B2 ,2018-04-04

[10]

植物イオン電荷測定装置と植物イオン電荷測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP5757898B2 ,2015-08-05

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