メモリ素子の製造装置及び製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20120528170
申请日
2011-11-22
公开(公告)号
JPWO2012070551A1
公开(公告)日
2014-05-19
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/3065
IPC分类号
H01L21/304 H01L27/105 H10N99/00
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
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[5]
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[8]
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[9]
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[10]
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