炭化ケイ素コーティング体を製造するためのプロセス[ja]

被引:0
申请号
JP20200535525
申请日
2018-12-22
公开(公告)号
JP2021508780A
公开(公告)日
2021-03-11
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23C16/42
IPC分类号
C04B41/87 C30B25/18 C30B29/36
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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