支持部材、導管支持装置、および、それを備えた処理装置[ja]

被引:0
申请号
JP20190566536
申请日
2019-01-18
公开(公告)号
JPWO2019142929A1
公开(公告)日
2021-01-28
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H02G11/00
IPC分类号
F16L3/00
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[4]
支持装置および該支持装置を備えた搬送装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6407325B2 ,2018-10-17
[7]
基板支持装置およびそれを含む基板処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7507842B2 ,2024-06-28
[8]
支持装置およびそれを備えた撮像システム[ja] [P]. 
日本专利 :JP7016048B2 ,2022-02-04
[9]
基板支持装置およびそれを含む基板処理装置[ja] [P]. 
LEE JONG GUN ;
JEONG SO HYUNG ;
KIM HYUNG JOON .
日本专利 :JP2024018859A ,2024-02-08
[10]
横桟固定部材及びこれを備えた手摺支持装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7117716B2 ,2022-08-15