研磨材及び研磨用組成物[ja]

被引:0
申请号
JP20130519499
申请日
2012-06-06
公开(公告)号
JPWO2012169515A1
公开(公告)日
2015-02-23
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C09K3/14
IPC分类号
B24B7/24 B24B37/00
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
研磨材及び研磨用組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2012102180A1 ,2014-06-30
[2]
研磨用組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2012115020A1 ,2014-07-07
[3]
研磨用組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2014069043A1 ,2016-09-08
[4]
研磨用組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2013069623A1 ,2015-04-02
[5]
研磨用組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JP6140384B1 ,2017-05-31
[6]
研磨用組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2017057478A1 ,2017-10-05
[7]
化学機械研磨用組成物及び研磨方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025158299A ,2025-10-17
[8]
化学機械研磨用組成物及び研磨方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025158298A ,2025-10-17
[9]
酸化珪素膜研磨用研磨液組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2016104611A1 ,2017-10-12
[10]
研磨用組成物及びシリコン基板の研磨方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6145501B1 ,2017-06-14