デラフォサイト型Cu系複合酸化物膜及び複合材料[ja]

被引:0
申请号
JP20200549151
申请日
2019-09-20
公开(公告)号
JP7007618B2
公开(公告)日
2022-02-10
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C30B29/22
IPC分类号
C01G3/00 C23C14/08 C30B7/10 H01L21/363
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
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[2]
[3]
複合酸化物及び材料[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022102268A ,2022-07-07
[4]
メリライト型複合酸化物[ja] [P]. 
日本专利 :JP6858992B2 ,2021-04-14
[5]
メリライト型複合酸化物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2019065285A1 ,2020-08-06
[6]
酸化物基複合材料[ja] [P]. 
日本专利 :JP5920788B2 ,2016-05-18
[7]
酸化物基複合材料[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2012077787A1 ,2014-05-22
[10]