共 50 条
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積層体およびその製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20120503223
申请日：
2011-03-02
公开(公告)号：
JPWO2011108609A1
公开(公告)日：
2013-06-27
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
B32B9/00
IPC分类号：
B32B27/30
C23C14/08
C23C16/42
H01L31/042
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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