強誘電体キャパシタの製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20040568466
申请日
2003-02-19
公开(公告)号
JPWO2004075296A1
公开(公告)日
2006-06-01
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23C16/40
IPC分类号
C23C16/455 H01L21/02 H01L21/205 H01L21/316 H10B12/00 H10B20/00 H10B69/00
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
強誘電体キャパシタおよびその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2004066388A1 ,2006-05-18
[2]
キャパシタ及びキャパシタの製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2010082605A1 ,2012-07-05
[4]
タキサン誘導体の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2014528408A ,2014-10-27
[5]
強誘電体層付き基体の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2007020971A1 ,2009-02-26
[7]
誘電体材料の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2016157954A1 ,2018-02-01
[8]
[10]
誘電体、それを含むキャパシタ、およびキャパシタを備える機器[ja] [P]. 
YOSHINO TAKAHIRO ;
TANAKA YUKI ;
SUZUKI HIROAKI ;
ISHIMOTO HITOSHI ;
UEDA MASAHIRO .
日本专利 :JP2024094933A ,2024-07-10