ガス供給装置及びガス供給方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20180528496

申请日：

2017-07-11

公开(公告)号：

JPWO2018016375A1

公开(公告)日：

2019-05-09

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

F17C9/00

IPC分类号：

C23C16/448 F17C13/02 H01L21/3065 H01L21/31

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法律状态信息

共 50 条

[1]

水素供給システムの運転方法、水素供給設備及び水素供給システム[ja] [P].

日本专利 :JPWO2014157133A1 ,2017-02-16

[2]

有機金属化合物含有ガスの供給装置[ja] [P].

日本专利 :JP6237882B2 ,2017-11-29

[3]

有機金属化合物含有ガスの供給装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015145907A1 ,2017-04-13

[4]

処理ガス供給機構、成膜装置および成膜方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2004111297A1 ,2006-07-20

[5]

ガスタービン設備、水素供給設備、水素供給方法、及び、ボイラ設備[ja] [P].

SHINAGAWA TATSUYA ;

ARINO TAKASHI ;

HIRAIWA CHIHIRO ;

ADACHI SHUHEI ;

KISHIMOTO FUMINAO .

日本专利 :JP2024144950A ,2024-10-15

[6]

ガス検出装置及びガス検出方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2020235335A1 ,2021-12-09

[7]

ガス処理装置及びガス処理方法[ja] [P].

MAEDA MOTOHIDE ;

KISHIMOTO AKIRA ;

YOSHIZAWA MAI ;

MACHIDA HIROSHI ;

NORINAGA YUKIYASU .

日本专利 :JP2025008548A ,2025-01-20

[8]

液体添加剤供給装置[ja] [P].

日本专利 :JP2015535562A ,2015-12-14

[9]

還元剤供給装置[ja] [P].

日本专利 :JP2022105389A ,2022-07-14

[10]

酸性ガス吸収剤、酸性ガスの除去方法及び酸性ガス除去装置[ja] [P].

SAITO HITOMI ;

SUZUKI AKIKO ;

NAKANO YOSHIHIKO ;

YOSHIMURA REIKO ;

KONDO ARI ;

MURAI SHINJI ;

TAKADA NORIKO .

日本专利 :JP2024130186A ,2024-09-30

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