共 50 条
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成膜装置及びそれを用いた成膜方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20120540869
申请日：
2011-10-25
公开(公告)号：
JP5903666B2
公开(公告)日：
2016-04-13
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/205
IPC分类号：
B01J35/00
C23C16/452
H01L21/31
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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