感光性樹脂組成物及び感光性エレメント[ja]

被引:0
申请号
JP20070533133
申请日
2006-07-19
公开(公告)号
JPWO2007026475A1
公开(公告)日
2009-03-05
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
G03F7/023
IPC分类号
C08G8/32 G03F7/004 H01L21/027
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
感光性化合物、感光性樹脂及び感光性組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JP6053194B2 ,2016-12-27
[2]
感光性化合物、感光性樹脂及び感光性組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2013153873A1 ,2015-12-17
[3]
感光性樹脂エレメント[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2015080257A1 ,2017-03-16
[4]
感光性樹脂および感光性樹脂組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2007141829A1 ,2009-10-15
[5]
感光性樹脂組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2018159629A1 ,2019-08-08
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
感光性樹脂組成物及び感光性樹脂積層体[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2015099137A1 ,2017-03-23