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高周波数応用例のためのヘテロ構造相互接続[ja]
被引：0
申请号：
JP20190566057
申请日：
2018-02-21
公开(公告)号：
JP2020508587A
公开(公告)日：
2020-03-19
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/3205
IPC分类号：
C01B32/194
H01L21/768
H01L23/532
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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