光学装置、投影光学系、露光装置、および物品製造方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20170093375

申请日：

2017-05-09

公开(公告)号：

JP6875925B2

公开(公告)日：

2021-05-26

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G02B5/10

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共 50 条

[1]

光学装置、投影光学系、露光装置、および物品製造方法[ja] [P].

NISHIKAWA TOMOHIRO ;

HAGIRI MASATO ;

KIMURA KAZUTAKA ;

SEKI MITSURU ;

YUI TOMOKI ;

SHIRAHATA KYOHEI .

日本专利 :JP2024125015A ,2024-09-13

[2]

光学装置、投影光学系、露光装置、および物品の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP6336274B2 ,2018-06-06

[3]

光学装置、投影光学系、露光装置、および物品の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP7075302B2 ,2022-05-25

[4]

光学装置、投影光学系、露光装置、および物品の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP6371576B2 ,2018-08-08

[5]

光学装置、投影光学系、露光装置および物品の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP6168957B2 ,2017-07-26

[6]

投影光学系、露光装置、および物品製造方法[ja] [P].

YABU NOBUHIKO .

日本专利 :JP2024104628A ,2024-08-05

[7]

光学装置、投影光学系、露光装置、及び物品製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP6881954B2 ,2021-06-02

[8]

投影光学系、露光装置、および物品の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP7614962B2 ,2025-01-16

[9]

投影光学系、露光装置および物品の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP6410406B2 ,2018-10-24

[10]

保持装置、投影光学系、露光装置、および物品製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP6808381B2 ,2021-01-06

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