ウエハ洗浄の方法および装置[ja]

被引：0

申请号：

JP20210513833

申请日：

2019-09-16

公开(公告)号：

JP2022500858A

公开(公告)日：

2022-01-04

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/304

IPC分类号：

B05B7/08 B05C11/08 B08B3/02

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法律状态信息

共 50 条

[1]

液体吐出装置および洗浄方法[ja] [P].

IKEDA KOJI ;

WAKIMOTO SAKI .

日本专利 :JP2024127255A ,2024-09-20

[2]

口腔洗浄器用ノズルおよび口腔洗浄器[ja] [P].

日本专利 :JP3246452U ,2024-04-19

[3]

洗浄用微細ミスト生成装置、口腔内洗浄装置、ノズル、口腔内洗浄方法、および、洗浄用微細ミスト生成装置の洗浄用微細ミスト生成方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2016013256A1 ,2017-04-27

[4]

靴底洗浄装置[ja] [P].

日本专利 :JP7076056B1 ,2022-05-26

[5]

電気めっき装置の洗浄方法[ja] [P].

日本专利 :JP2024542863A ,2024-11-15

[6]

分析を実行するための機械的な洗浄および測定装置[ja] [P].

日本专利 :JP2015505615A ,2015-02-23

[7]

ろ過装置およびその運転方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2020138231A1 ,2021-11-04

[8]

気体清浄装置および気体清浄装置用集液部材[ja] [P].

日本专利 :JP6920672B1 ,2021-08-18

[9]

気体清浄装置および気体清浄装置用集液部材[ja] [P].

日本专利 :JP2022151896A ,2022-10-11

[10]

反応用のプロセスおよび装置[ja] [P].

日本专利 :JP2017505616A ,2017-02-23

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