フッ素原子含有樹脂、フッ素系界面活性剤及びポジ型レジスト組成物。[ja]

被引：0

申请号：

JP20130058136

申请日：

2013-03-21

公开(公告)号：

JP6146605B2

公开(公告)日：

2017-06-14

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

G03F7/039

IPC分类号：

C08F290/06 H01L21/027

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共 50 条

[1]

含フッ素ノボラック型樹脂、フッ素系界面活性剤、フッ素系界面活性剤組成物および樹脂組成物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2008146681A1 ,2010-08-19

[2]

フッ素系界面活性剤、レジスト組成物、硬化物及びフッ素系界面活性剤の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP6137289B2 ,2017-05-31

[3]

フッ素系界面活性剤組成物[ja] [P].

日本专利 :JP7283685B2 ,2023-05-30

[4]

フッ素化界面活性剤含有組成物[ja] [P].

WILLIAM M LAMANNA ;

PATRICIA M SAVU ;

JASON M KEHREN ;

LIPING CLARYN NG ;

IKEGAYA NAMIKO .

日本专利 :JP2022008478A ,2022-01-13

[5]

フッ素化界面活性剤含有組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2017528568A ,2017-09-28

[6]

フッ素系界面活性剤[ja] [P].

日本专利 :JP5706406B2 ,2015-04-22

[7]

フッ素系界面活性剤[ja] [P].

日本专利 :JPWO2004018535A1 ,2005-12-08

[8]

フッ素系界面活性剤、コーティング組成物、レジスト組成物及び硬化物[ja] [P].

日本专利 :JP5950175B2 ,2016-07-13

[9]

フッ素系界面活性剤、コーティング組成物、レジスト組成物及び硬化物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015137229A1 ,2017-04-06

[10]

ポリバレントフッ素系界面活性剤[ja] [P].

日本专利 :JP7599197B2 ,2024-12-13

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