共 50 条
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金属膜および金属膜の成膜方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20160520906
申请日：
2015-01-09
公开(公告)号：
JP6082165B2
公开(公告)日：
2017-02-15
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/14
IPC分类号：
B41J2/14
B41J2/16
C23C14/34
H01L21/28
H01L21/285
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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