共 50 条
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投影光学系、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20120076984
申请日：
2012-03-29
公开(公告)号：
JP5621806B2
公开(公告)日：
2014-11-12
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/027
IPC分类号：
G02B13/24
G02B17/08
G03F7/20
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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