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高周波透過材料[ja]
被引：0
申请号：
JP20100149324
申请日：
2010-06-30
公开(公告)号：
JP5720127B2
公开(公告)日：
2015-05-20
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C04B35/50
IPC分类号：
C01B31/02
C01F17/00
H01L21/3065
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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