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粉体チャンバ及び粉体チャンバのためのステーション[ja]
被引:0
申请号
:
JP20180540868
申请日
:
2017-02-03
公开(公告)号
:
JP2019509088A
公开(公告)日
:
2019-04-04
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
A61C3/025
IPC分类号
:
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
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法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
エッチング及びチャンバクリーニングのための方法及びそのためのガス[ja]
[P].
日本专利
:JP2018525810A
,2018-09-06
[2]
混合チャンバー及びハンドピース[ja]
[P].
日本专利
:JP2020500687A
,2020-01-16
[3]
チャンバクリーニング及び半導体エッチング用ガス[ja]
[P].
日本专利
:JP2017503350A
,2017-01-26
[4]
細胞セパレータのためのプレチャンバ[ja]
[P].
日本专利
:JP2021521827A
,2021-08-30
[5]
蒸着及びエッチングチャンバのための上流プロセスモニタリング[ja]
[P].
日本专利
:JP2024537559A
,2024-10-11
[6]
相分離のための電気吸着キャビテーションデバイス及び方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2020510529A
,2020-04-09
[7]
不織布バインダーのためのローション[ja]
[P].
日本专利
:JP2018507328A
,2018-03-15
[8]
光学製品のためのテクスチャ化コーティング[ja]
[P].
日本专利
:JP2017515153A
,2017-06-08
[9]
プラズマチャンバの低温焼結コーティング[ja]
[P].
日本专利
:JP2023502137A
,2023-01-20
[10]
TCPチャンバのガスプレートを浮遊させるためのキャリアリング[ja]
[P].
日本专利
:JP2023543423A
,2023-10-16
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