共 50 条
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有機金属前駆体化合物[ja]
被引：0
申请号：
JP20210183735
申请日：
2021-11-10
公开(公告)号：
JP7271850B2
公开(公告)日：
2023-05-12
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/40
IPC分类号：
C07F7/00
C07F17/00
C23C16/34
H01L21/316
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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