共 50 条
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機能性水溶液供給装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20210041867
申请日：
2021-03-15
公开(公告)号：
JP7147901B1
公开(公告)日：
2022-10-05
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/304
IPC分类号：
C02F1/68
C02F1/70
C02F1/72
C02F1/78
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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