共 50 条
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レチクルを保持及び輸送するための、透明窓アセンブリを有する容器[ja]
被引：0
申请号：
JP20200502632
申请日：
2018-07-16
公开(公告)号：
JP2020528160A
公开(公告)日：
2020-09-17
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
G03F1/66
IPC分类号：
B65D85/30
H01L21/673
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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