水酸化テトラアルキルアンモニウム含有現像廃液の中和方法[ja]

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申请号
JP20080543089
申请日
2007-11-06
公开(公告)号
JPWO2008056671A1
公开(公告)日
2010-02-25
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
G03F7/32
IPC分类号
C02F1/66
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[3]
水酸化テトラアルキルアンモニウムの製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2011036942A1 ,2013-02-14