加工物を中央に締付固定するためのコンペンセーティングチャック[ja]

被引:0
申请号
JP20170547461
申请日
2016-02-18
公开(公告)号
JP6498311B2
公开(公告)日
2019-04-10
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
B23B31/177
IPC分类号
B23B31/16
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[2]
[5]
多数の加工物を処理する進歩したチャンバ[ja] [P]. 
日本专利 :JP6016870B2 ,2016-10-26
[6]
多数の加工物を処理する進歩したチャンバ[ja] [P]. 
日本专利 :JP5758627B2 ,2015-08-05
[10]
シャッターアセンブリを有するイオン源[ja] [P]. 
日本专利 :JP2016500901A ,2016-01-14