共 50 条
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レジスト組成物、レジストパターン形成方法及び高分子化合物[ja]
被引：0
申请号：
JP20140006140
申请日：
2014-01-16
公开(公告)号：
JP6322424B2
公开(公告)日：
2018-05-09
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
G03F7/038
IPC分类号：
C08F220/10
C08F220/28
G03F7/039
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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