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誘電体絶縁薄膜の製造方法及び誘電体絶縁材料[ja]
被引：0
申请号：
JP20050504122
申请日：
2004-03-26
公开(公告)号：
JPWO2004086486A1
公开(公告)日：
2006-06-29
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/316
IPC分类号：
H01L29/78
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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