耐プラズマコーティングを有するシャドウマスク[ja]

被引:0
申请号
JP20180561732
申请日
2016-05-24
公开(公告)号
JP2019516867A
公开(公告)日
2019-06-20
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23C16/04
IPC分类号
C23C14/04 H01L51/50 H05B33/10
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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