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トリフルオロアミンオキシドを効率的に調製する方法及び装置[ja]

被引：0
申请号：
JP20200502207
申请日：
2019-05-31
公开(公告)号：
JP2021508653A
公开(公告)日：
2021-03-11
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C01B21/084
IPC分类号：
H01L21/31
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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