共 50 条
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ＴＦＴイオンセンサ並びにこれを用いた測定方法及びＴＦＴイオンセンサ機器[ja]
被引：0
申请号：
JP20140068159
申请日：
2014-03-28
公开(公告)号：
JP6372848B2
公开(公告)日：
2018-08-15
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
G01N27/414
IPC分类号：
H01L21/28
H01L21/336
H01L29/78
H01L29/786
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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