研磨パッドおよび該研磨パッドを用いたガラス基板の製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20130535865
申请日
2012-09-12
公开(公告)号
JPWO2013046576A1
公开(公告)日
2015-03-26
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
B24B37/26
IPC分类号
B24B37/00 G11B5/84
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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