共 50 条
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固体試料分析装置及び固体試料分析方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20170180602
申请日：
2017-09-20
公开(公告)号：
JP6972826B2
公开(公告)日：
2021-11-24
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01J49/14
IPC分类号：
G01N23/2251
G01N23/2258
G01N27/62
H01J37/244
H01J37/28
H01J37/317
H01J49/40
H01J49/42
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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